Разработан новый метод нанолитографии, основанный на использовании камеры-обскуры

Группа ученых из Института спектроскопии РАН и Московского физико-технического института представила технологию создания уменьшенных (наноразмерных) изображений микрометровых объектов на подложке из полупроводникового материала.

Минимальный размер элементов полученных авторами наноструктур составляет 30 нм, что соответствует уменьшению габаритов оригинала в 10 тысяч раз. «Теоретические расчеты показывают, что мы можем довести разрешение до 6 нм», — отметил один из авторов работы Виктор Балыкин в интервью сайту PhysOrg.

В основе предложенного метода лежит принцип простейшего из устройств, служащих для получения оптического изображения объектов, — камеры-обскуры (светонепроницаемого ящика с отверстием в одной из стенок и экраном на противоположной стенке; лучи света, проходя сквозь отверстие, создают перевернутое изображение на экране). В нашем случае пучок атомов индия или серебра занимает место потока квантов света, а вместо экрана используется кремниевая подложка. Отверстия камеры (в общем случае их может быть сколь угодно много; каждое создает свое изображение, благодаря чему можно одновременно получать большое количество наноструктур) формировались в пленке нитрида кремния Si3N4 толщиной 50 нм путем обработки ионным пучком. При этом минимально достижимый размер образующегося на подложке элемента структуры составляет третью часть диаметра отверстия.

По словам ученых, новая технология может применяться для создания наноструктур из разнообразных «строительных материалов» (атомов, молекул, кластеров) на подложках разного состава. «Перечень известных методик нанолитографии довольно велик, однако в практическом применении все они сложны, дороги, ограничивают производителей в выборе материалов, — говорит г-н Балыкин. — Нашу же установку можно легко разместить в любой лаборатории».

Отчет исследователей опубликован в журнале Nanotechnology; полный текст статьи можно скачать с сайта издания (требуется регистрация).

 

 



0 оценок, среднее: 0,00 из 50 оценок, среднее: 0,00 из 50 оценок, среднее: 0,00 из 50 оценок, среднее: 0,00 из 50 оценок, среднее: 0,00 из 5 (голосов: 0; средний: 0,00 из 5)
Вы должны авторизоваться, чтобы голосовать за эту запись.
Загрузка...




Код для блога: Livejournal Livejournal Я.ру Я.ру Livinternet.ru Livinternet.ru

Загружается, подождите...

Для того, чтобы оставить комментарий, Вы должны войти в систему, либо зарегистрироваться. Вход